盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备,该设备采用单片腔体对晶圆正后背依工序清洗,可进行包罗晶圆后背刷洗、晶圆边缘刷洗、正后背二流体清洗等清洗工序。设备占地面积小,产能高,不变性强,多种清洗体例矫捷可选,且可用于芯片制制的中前段至后段各道刷洗工艺。

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【TechWeb】6月16日动静,2021年6月7日,上海芯物科技无限公司12吋中试出产线工艺设备搬入典礼正在新傲工场举行,盛美半导体设备(上海)股份无限公司首台清洗设备入驻芯物科技。

我代表盛美向芯物科技暗示衷心的感激!王晖先生正在致辞时说:“可以或许获得和芯物科技一路成长的机遇,等候将来和芯物科技一路,开辟一些全球领先的差同化特色工艺和设备,把中国的MEMS做到世界前列!”正在这个充满机遇取挑和的时代。

据国度智能传感器立异核心担任人正在致辞时引见,12英寸先辈传感器特色工艺研发中试平台跨越80%的设备均采用国产设备,为国产配备供给验证平台,加快传感器财产链国产化,实现自从可控。